刻划光栅是基于飞秒激光的特性，其极短的脉冲宽度和高光强度使其能够在加工表面产生微小的周期性变化，三轴精密运动台实现XYZ方向上的定位，大量相同的狭缝等间隔平行地排列构成光栅。
三轴精密运动台特点：
-XY轴气浮运动台，常用的XY轴行程100*100mm。
-Z轴平升结构，调整激光焦距，将激光束聚焦到工件表面，行程5~20mm（根据用户的需求）。
-XY轴重复定位精度±50nm，直线度优于1μm，保证理想刻划直线，微动步距提供刻线的最小间距，用于刻划光栅。
-XY轴定位抖动20nm，Z轴微动步距≤50nm
-控制上支持位置同步输出，用于触发激光器通断。
产品结构：
